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直線旋轉執行器在半導體行業中的應用

來源:智匯工業

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所屬頻道:新聞中心

關鍵詞:直線旋轉執行器

    近幾年,我國IC行業蓬勃發展,芯片設計技術及封測技術已經走向世界前列,但后端的制造業卻存在嚴重的技術依賴。以芯片晶圓的分揀為例,取放操作(PICK&PLACE)是芯片晶圓分揀的基本工序,這類工序往往使用搭載高速直線運動模組(直線運動往復頻率會達到20Hz左右)的負壓吸盤實現,直線運動具有位置精度高,加速度高,速度快,慣量大的特點。


    但是被搬運的晶圓往往為分散放置,這樣就導致在分揀過程中存在較大的接觸沖擊力,如超過晶圓的承受范圍,就會導致晶圓損壞。因此就要求晶圓的分揀設備在極短的時間內完成位置和力的控制(一般力小于0.5N)。同時還需要通過旋轉運動糾正晶圓的角度。這種集成直線運動和旋轉運動的末端設備就是旋轉直線執行器。


     直線旋轉執行器的行業現狀


    據估算,直線旋轉執行器在國內約有30億的市場空間,其中晶圓分揀,高端柔性SMT是剛需市場,此外在新能源、半導體、3C以及生物醫藥領域也有大量的應用需求。但由于我國直線旋轉執行器的發展較慢,目前國內99%的執行器都是依賴于進口,價格昂貴且供貨周期長,極大地影響了我國制造效率。


    國外目前主要有三家企業涉及直線旋轉執行器領域,分別是美國的SMAC公司、日本THK以及新加坡的雅科貝思。但由于這三家國外產品價格昂貴,供貨周期長,難以滿足國內制造業需要,實際上成為了國內半導體、生物醫藥等行業量產的“卡脖子”核心零部件。

    鈞舵PPA助力半導體發展


    鈞舵機器人瞄準行業需求,根據多年的技術積累,突破音圈電機,直線電機,直線編碼器,伺服驅動技術和力控技術,推出具有自主知識產權的直線旋轉執行器PPA(PICK&PLACE Actuator),成功打破了國外的產品封鎖,能廣泛應用于高速高力感知的搬運場景。

    鈞舵PPA六大技術優勢


    產品精密裝配過程中,末端執行器往往需要實現直線和旋轉兩個獨立自由度的運動,以達到拾取、變姿態和放置的動作。而這類執行器,市面上絕大多數的廠家都是通過“旋轉伺服電機+絲桿”來實現的。雖然“直線+旋轉”的問題解決了,其“副作用”也隨之而來。“旋轉伺服電機+絲桿”的解決方案使得整個執行器體積大、占用空間多,且加速度通常只能達到10-20m/s2,精度也很難達到微米級,而且基本不具備力控的能力。而效率、精度和力控等方面性能的不足,很難滿足當前半導體、生物醫藥等行業快速發展的需求。


    鈞舵研發團隊突破高難度技術細節,用六大技術優勢攻破“卡脖子”難關,正式進入直線旋轉執行器市場。


        1.體積小,降低能耗

    相比于傳統直線旋轉單元,鈞舵研發的直線旋轉執行器體積減小50%,可降低80%的能耗;

    2.高場景匹配度

    相比于傳統直線旋轉單元,PPA的直線運動速度提高20倍,可滿足高速應用場景;

    3.高精度

    PPA直線運動精度達到0.5um,相比于一般的絲桿傳動方式,無齒隙和回隙,精度提高10倍;

    4.精準力控

    PPA具有力控功能,最小力分辨率可到2g,避免由于無力感知帶來的物品損壞,減少精密零件損傷;

    5.柔性化

    PPA具有力/位置混合控制,能夠同時處理不同尺寸物體,以柔克剛,柔性處理;

    6.高能量密度

    采用SOC控制方案和PWM AD補償方案,驅動效率提升30%,同步性提升10%,成本降低20%。


    (審核編輯: 智匯小新)

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