5月19日，國(guó)內(nèi)高純電子化學(xué)品材料龍頭企業(yè)多氟多發(fā)布公告稱，多氟多在經(jīng)過(guò)臺(tái)積電的現(xiàn)場(chǎng)審核和多輪上線測(cè)試后，正式進(jìn)入了臺(tái)積電合格供應(yīng)商體系，近期將開始向臺(tái)積電批量交付高純電子化學(xué)品。

技術(shù)人員正在多氟多無(wú)塵分析化驗(yàn)室內(nèi)檢測(cè)產(chǎn)品品質(zhì)

把握機(jī)遇，不斷突破，打通國(guó)內(nèi)外市場(chǎng)

眾所周知，生產(chǎn)芯片的第一步是制造晶圓，而在制造晶圓的過(guò)程中，需要用到多種高純電子化學(xué)品材料，其中除了最有名氣的光刻膠以外，氟化聚酰胺、高純電子氫氟酸等高端化學(xué)品材料同樣必不可少。但這些高純電子化學(xué)品涉及多項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)，制作難度大，目前，高純電子化學(xué)品材料市場(chǎng)幾乎全被歐美、日本企業(yè)所壟斷，甚至占有率達(dá)到了90%以上，可以說(shuō)是卡住了全世界的脖子。

韓國(guó)就是一個(gè)最典型的例子。2019年，日本宣布暫停對(duì)韓國(guó)出口3種半導(dǎo)體核心原材料的供應(yīng)，導(dǎo)致韓國(guó)整個(gè)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)陷入低迷。但國(guó)內(nèi)高純電子化學(xué)品材料龍頭企業(yè)多氟多很快覺(jué)察到機(jī)會(huì)，通過(guò)過(guò)硬的產(chǎn)品質(zhì)量和穩(wěn)定的供應(yīng)量，順利通過(guò)審核，將半導(dǎo)體級(jí)氫氟酸出口到了韓國(guó)12英寸高端半導(dǎo)體企業(yè)，成功躋身全球高純電子化學(xué)品材料供應(yīng)鏈。

多氟多新材料股份有限公司董事長(zhǎng)李世江表示，世界高端半導(dǎo)體市場(chǎng)長(zhǎng)期以來(lái)被國(guó)外企業(yè)所壟斷，我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展的關(guān)鍵設(shè)備和八成以上的關(guān)鍵原材料長(zhǎng)期依賴進(jìn)口，嚴(yán)重影響了我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的健康有序發(fā)展。自2015年開始，多氟多以半導(dǎo)體市場(chǎng)8英寸客戶為起點(diǎn)，不斷創(chuàng)新發(fā)展，開發(fā)出具有獨(dú)立知識(shí)產(chǎn)權(quán)的電子級(jí)化學(xué)品生產(chǎn)新工藝，開拓新市場(chǎng)，以電子級(jí)氫氟酸為代表的高純電子化學(xué)品接連取得重要突破，并逐漸被國(guó)內(nèi)國(guó)外的半導(dǎo)體龍頭企業(yè)所認(rèn)可和使用。

多氟多立足全球電子化學(xué)品市場(chǎng)，產(chǎn)品質(zhì)量和管理水平已獲得德州儀器、韓國(guó)三星、長(zhǎng)鑫存儲(chǔ)等大型半導(dǎo)體企業(yè)認(rèn)可，打入了美韓等跨國(guó)半導(dǎo)體公司的供應(yīng)鏈，同時(shí)大批量供應(yīng)國(guó)內(nèi)多條8英寸和12英寸半導(dǎo)體芯片產(chǎn)線。近期成功進(jìn)入臺(tái)積電這樣一流的芯片制造企業(yè)，更是證明了多氟多在行業(yè)內(nèi)的認(rèn)可度和影響力正在不斷地鞏固和提高。

深耕技術(shù)，精益求精，躋身尖端供應(yīng)鏈

多氟多作為國(guó)內(nèi)高純電子化學(xué)品材料的領(lǐng)軍企業(yè)，正如其名，深耕高端氟化工材料生產(chǎn)技術(shù)十余年，其拳頭產(chǎn)品-電子級(jí)氫氟酸主要用于集成電路和超大規(guī)模集成電路芯片的清洗和刻蝕工序。有數(shù)據(jù)表示，到2026年僅在中國(guó)大陸，半導(dǎo)體電子氫氟酸以及相關(guān)的緩沖刻蝕液產(chǎn)品市場(chǎng)的需求將超過(guò)5萬(wàn)噸/年，市場(chǎng)前景非常廣闊。李世江向《中國(guó)電子報(bào)》記者介紹到，多氟多在超凈高純電子化學(xué)品的研發(fā)生產(chǎn)過(guò)程中，突破了工藝技術(shù)、分析檢測(cè)技術(shù)、超凈化處理技術(shù)、包裝容器的清洗技術(shù)及標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)等關(guān)鍵技術(shù)，所生產(chǎn)的電子級(jí)氫氟酸品質(zhì)達(dá)到UP-SSS級(jí)，產(chǎn)品純度達(dá)到PPT級(jí)，是目前半導(dǎo)體用電子級(jí)氫氟酸的最高級(jí)別，能夠滿足目前最先進(jìn)工藝制程對(duì)材料的要求，處于國(guó)際一流水平。

李世江在接受《中國(guó)電子報(bào)》記者采訪時(shí)表示，因?yàn)榕_(tái)積電對(duì)于供應(yīng)商的審查非常嚴(yán)格，為此多氟多高度重視、充分準(zhǔn)備，成立了總經(jīng)理掛帥的審核工作推進(jìn)領(lǐng)導(dǎo)小組統(tǒng)籌具體工作，嚴(yán)格按照臺(tái)積電的要求對(duì)整個(gè)體系進(jìn)行完善提升。審核一共分為三個(gè)階段，分別是文件審核、現(xiàn)場(chǎng)稽核、產(chǎn)品驗(yàn)證。最終，多氟多經(jīng)過(guò)了兩年多的時(shí)間完成了整個(gè)審核過(guò)程，依靠過(guò)硬的技術(shù)、創(chuàng)新的成果及穩(wěn)定的品質(zhì)通過(guò)了臺(tái)積電的驗(yàn)證，成為合格供應(yīng)商并開始批量供貨。

干濕并進(jìn)，產(chǎn)能升級(jí)，保障全球供應(yīng)需求

不僅是電子級(jí)氫氟酸這類的濕電子級(jí)化學(xué)品，多氟多在干電子化學(xué)品上同樣成績(jī)斐然，多氟多的子公司-中寧硅業(yè)的高純硅烷、乙硅烷、高純四氟化硅、納米硅粉等產(chǎn)品已進(jìn)入國(guó)內(nèi)知名半導(dǎo)體企業(yè)供應(yīng)鏈。在多氟多2021年定增11.5億元募投項(xiàng)目中顯示，多氟多正在建設(shè)年產(chǎn)3萬(wàn)噸超凈高純電子級(jí)氫氟酸、年產(chǎn)3萬(wàn)噸超凈高純濕電子化學(xué)品、100噸高純乙硅烷、100噸高純氟氮混合氣、300噸高純四氟化硅等項(xiàng)目，今年下半年將陸續(xù)建成投產(chǎn)，并根據(jù)市場(chǎng)情況逐步釋放產(chǎn)能，以更好地滿足半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)對(duì)電子化學(xué)品持續(xù)增長(zhǎng)的需求。

多氟多新材料股份有限公司副總經(jīng)理王澤國(guó)表示，多氟多的定位是全球半導(dǎo)體的綜合化學(xué)品服務(wù)商，目前已經(jīng)打破了國(guó)外對(duì)超凈高純電子化學(xué)品技術(shù)封鎖和市場(chǎng)壟斷，滿足了集成電路產(chǎn)業(yè)對(duì)高純電子級(jí)氫氟酸需求，解決了重點(diǎn)領(lǐng)域卡脖子問(wèn)題，提升了我國(guó)基礎(chǔ)關(guān)鍵新材料制造水平和自給保障能力，對(duì)我國(guó)集成電路配套電子化學(xué)品行業(yè)創(chuàng)新能力和發(fā)展質(zhì)量提升提供了有力支撐。